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Titel
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EMLC 2006 lectures held at the GMM conference, January 23 - 26, 2006 in Dresden, Germany ; with CD-ROM
Veröffentlicht 2006
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Photomask fabrication technology
Veröffentlicht 2005
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Format
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Tagungsbericht
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Signatur
T - Ingenieurwissenschaften
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Verfasser
Behringer, Uwe
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EMLC Dresden
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Sprache
Englisch
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Erscheinungsform
Konferenzschrift
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Erscheinungsjahr
Von:
Bis:
Bestand
UB Bayreuth
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DE-83
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