Röntgenographische Spannungsermittlung an Faserverbundwerkstoffen mikromechanische Modellierung und experimentelle Untersuchung der Spannungsübertragung auf einlaminierte Detektion... von Meske, Ralf 1969-

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Plasmagestütztes Tiefenstrukturieren von Silizium am Beispiel einer piezogetriebenen Mikromembranpumpe von Feustel, Andreas

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Mikromechanische Beschleunigungsschalter für Airbagsysteme von Tönnesen, Tore Lied

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Laterale Begrenzung von elektrochemischen Reaktionen in mikromechanischen Aufbauten und im fokussierten Laserstrahl von Karstens, Olaf

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Komplexes Mikrosystem am Beispiel eines diodengepumpten Festkörperlasers von Heinemann, Stefan

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Spezielle Verfahren der Mikrostrukturierung von Glas von Schmidt, Kristina

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Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase von Petri, Felix 1977-

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Mechanische Charakterisierung nanostrukturierter Funktionsschichten durch Indentations- und Scratching-Verfahren von Berger, Lothar

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Oberflächenmikromechanische Sensoren für Drehbeschleunigung und magnetische Feldstärke von Emmerich, Harald 1969-

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Zur Analyse thermisch induzierter dreidimensionaler Eigenspannungsrisse in räumlichen Verbundwerkstoffmodellen unter Verwendung numerischer und experimenteller Methoden von Linnenbrock, Klaus 1967-

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Numerische und experimentelle Untersuchungen rissbehafteter Strukturen von Ferber, Ferdinand

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Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren von Lisec, Thomas

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Ein Beitrag zur zerstörungsfreien Beurteilung der Qualität der Verbindung beim Substratbonden von Hirschfeld, Botho

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Entwicklung und Vergleich einfach primärseitig sowie doppelt entkoppelter mikrotechnischer Drehratensensoren und Evaluierung der Entkopplungsmechanismen von Braxmaier, Markus 1972-

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Beitrag zur Untersuchung von passiven planaren Hochgeschwindigkeitsmagnetlagern für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik von Klöpzig, Markus

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Mikro- und integriert-optische Silizium-Mikrofone mit intensitätsmoduliertem Ausgangssignal von Klaiber, Martin 1971-

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Netzwerksimulation mikromechanischer Systeme von Lorenz, Gunar 1973-

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Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen von Schumacher, Axel

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Kapazitive Schallwandler mit interner Polarisation auf Polymerbasis sowie in Siliziummikromechanik von Kreßmann, Reiner 1969-

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Unterstützung des Entwurfsprozesses in der Mikromechanik durch Einsatz eines modularen Baukastensystems am Beispiel mikromechanischer Membranen von Weiss, Elmar

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