Disposable Lab-on-Chip systems for biotechnological screening von Demming, Stefanie

“… Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik …”
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Elektromagnetische Mikroaktoren Konzepte, Herstellung, Charakterisierung und Anwendungen von Waldschik, Andreas

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Wissensbasierte Überprüfung mikrotechnologischer Fertigungsabläufe von Hansen, Ulli

“… Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik …”

Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium-Mikromechanik von Dauer, Stefan

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Mikrotechnisch hergestelltes Fluxgate-Magnetometer für die Winkelmessung von Kirchhoff, Maren Ramona

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Microplasma stamps - an atmospheric pressure plasma source for the area selective modification of surfaces von Lucas, Nina

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Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik von Feldmann, Marco

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Flüssigkeitssensoren auf der Basis mikroakustischer Wellenleitermoden von Herrmann, Falk

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Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen von Hoche, Jens

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Entwicklungsumgebung für den rechnerunterstützten Entwurf von Mikrokomponenten von Steffensen, Lars

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Induktive Mikrosysteme Technologieentwicklung und Anwendung von Seidemann, Volker

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