Plasma etching processes for CMOS device realization

DE-860
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Low pressure plasmas and microstructuring technology von Franz, Gerhard

Micromachining using electrochemical discharge phenomenon fundamentals and applications of spark assisted chemical engraving von Wüthrich, Rolf

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Micromachining using electrochemical discharge phenomenon fundamentals and applications of spark assisted chemical engraving von Wüthrich, Rolf

DE-860
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Micromixers fundamentals, design and fabrication von Nguyen, Nam-Trung

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Plasma etching processes for interconnect realization in VLSI

DE-860
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Ätzverfahren für die Mikrotechnik von Köhler, J. M. 1956-

DE-898
DE-861
DE-473
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Principles of plasma discharges and materials processing von Lieberman, M. A.

DE-861
DE-473
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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik von Franz, Gerhard

Inhaltsverzeichnis

Dry etching for VLSI von Roosmalen, Alfred J. van, Baggerman, J. A., Brader, S. J.

Handbook of plasma processing technology fundamentals, etching, deposition, and surface interactions

Plasma deposition, treatment, and etching of polymers

DE-1046
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Handbook of plasma processing technology fundamentals, etching, deposition, and surface interactions

Kalte Plasmen Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen von Franz, Gerhard

Plasma etching an introduction

DE-1046
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Plasma processing and processing science

Plasma processing and processing science

DE-1046
DE-1047
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Plasma processing and processing science

Plasma etching for integrated silicon sensor applictions von Li, Yuan Xiong

Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung