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    VLSI metallization

    Veröffentlicht 1987
    FAW01
    URL des Erstveröffentlichers
    Elektronisch E-Book
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    VLSI metallization physics and technologies

    Veröffentlicht 1991
    Buch
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    Metallization theory and practice for VLSI and ULSI von Murarka, Shyam P.

    Veröffentlicht 1993
    Buch
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