Photopolymers photoresist materials, processes, and applications

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Nakamura, Kenichiro (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	[Place of publication not identified] CRC Press 2018
Schriftenreihe:	Optics and photonics
Schlagworte:	Photopolymers Photoresists Photopolymerization Photopolymers > Industrial applications Microelectronics > Materials Photopolymères Résines photosensibles Photopolymérisation Photopolymères ; Applications industrielles Microélectronique ; Matériaux Microelectronics ; Materials Photopolymers ; Industrial applications
Online-Zugang:	lizenzpflichtig
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