Impact of surface engineering on metal oxide film growth by atomic layer deposition
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin
[2022?]
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | Tag der mündlichen Prüfung: 21.11.2022 |
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| Beschreibung: | vi, 159 Seiten Illustrationen, Diagramme (überwiegend farbig) |