Low-energy ion irradiation of materials Fundamentals and application

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Rauschenbach, Bernd (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Cham Springer [2022]
Schriftenreihe:	Springer series in materials science Volume 324
Schlagworte:	Surface patterning Low- and highly-charged ions Nanotechnology Surfaces, Interfaces and Thin Film Nuclear and Particle Physics Surfaces (Technology) Ions Thin films Nuclear physics
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