Stress and strain engineering at nanoscale in semiconductor devices
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boca Raton
CRC Press
2021
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| Beschreibung: | xiii, 260 Seiten Illustrationen, Diagramme |
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| ISBN: | 9780367519292 9780367519339 |