Theoretical investigation of scanning probe lithography in field-emission mode
Die Miniaturisierung der kleinsten Bauelemente, d. h. der Transistoren, in integrierten Schaltungen auf Siliziumbasis nähert sich langsam den physikalischen Grenzen und alternative Strukturierungs- und Strukturübertragungsmethoden werden benötigt um zu noch kleineren Strukturen zu gelangen. Eine die...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Ilmenau
06.09.2019
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis Abstract |
| Tags: |
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