Mechanics of microsystems
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| Hauptverfasser: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Hoboken
Wiley
2018
|
| Schriftenreihe: | Microsystem and nanotechnology series
7646 |
| Schlagworte: | |
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Mechanics of microsystems
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