Low temperature epitaxial growth of semiconductors
Low temperature processes for semiconductors have been recently under intensive development to fabricate controlled device structures with minute dimensions in order to achieve the highest device performance and new device functions as well as high integration density. Comprising reviews by experts...
Gespeichert in:
| Format: | Elektronisch E-Book |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Singapore
World Scientific Pub. Co.
c1991
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | FHN01 URL des Erstveroeffentlichers |
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