Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ree, Moonhor (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Hauppauge, N.Y. Nova Science Publishers c2010
Schriftenreihe:Nanotechnology science and technology series
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Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties von Ree, Moonhor

Veröffentlicht 2010
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Elektronisch E-Book
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Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties von Ree, Moonhor

Veröffentlicht 2010
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