Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Ree, Moonhor (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Hauppauge, N.Y. Nova Science Publishers c2010
Schriftenreihe:	Nanotechnology science and technology series
Schlagworte:	Dielectric films Microelectronics > Materials Porous materials Interconnects (Integrated circuit technology)
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