Ultra clean processing of semiconductor surfaces XII selected, peer reviewed papers from the 12th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) September 21-24, 2014, Brussels, Belgium

Ultra clean processing of semiconductor surfaces XII selected, peer reviewed papers from the 12th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) September 21-24, 2014, Brussels, Belgium

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces < 2014, Brussels, Belgium> (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mertens, Paul (HerausgeberIn), Meuris, Marc (HerausgeberIn), Heyns, Marc (HerausgeberIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Pfaffikon, Switzerland TTP 2014
Schriftenreihe:	Diffusion and defect data v. 219
Schlagworte:	TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical Semiconductors Semiconductors > Congresses Konferenzschrift
Online-Zugang:	DE-1046 DE-1047
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