Resonant MEMS fundamentals, implementation and application

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Wiesbaden Wiley-VCH Verlag & Co. KGaA [2015]
Schriftenreihe:	Advanced micro and nanosystems
Schlagworte:	TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Digital TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / General TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Microelectronics Microelectromechanical systems / Design and construction Microfabrication Resonance Resonator Nanoelektromechanik MEMS Aufsatzsammlung
Online-Zugang:	DE-861 DE-91 DE-473 URL des Erstveröffentlichers
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