Glancing angle deposition of thin films engineering the nanoscale

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Hawkeye, Matthew M. (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Chichester, West Sussex, United Kingdom Wiley [2014]
Schriftenreihe:	Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications
Schlagworte:	TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical Nanotechnology Chemical vapor deposition Nanoelectromechanical systems / Design and construction Electronic books
Online-Zugang:	DE-861 DE-473 URL des Erstveröffentlichers
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