Design for manufacturability with advanced lithography
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Cham
Springer International Publishing
[2016]
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | BTU01 FAB01 FAW01 FHA01 FHI01 FHN01 FHR01 FKE01 FRO01 FWS01 FWS02 UBY01 URL des Erstveröffentlichers Inhaltsverzeichnis Abstract |
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| Beschreibung: | 1 Online Ressource (XI, 164 p. 100 illus., 91 illus. in color) |
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| ISBN: | 9783319203850 |
| DOI: | 10.1007/978-3-319-20385-0 |