Analysis and design principles of MEMS devices
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam
Elsevier
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-1046 DE-1047 DE-91 |
| Tags: |
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