Protonendotierung von Silizium Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wiesbaden
Springer Fachmedien
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | BFB01 BHS01 BTU01 BTW01 FAB01 FAN01 FAW01 FCO01 FFW01 FHA01 FHD01 FHI01 FHM01 FHN01 FHO01 FHR01 FKE01 FLA01 FRO01 FWS01 FWS02 HTW01 HWR01 TUM01 UBG01 UBM01 UBT01 UBW01 UBY01 UER01 Volltext Inhaltsverzeichnis Abstract |
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