Modeling and optimization methods of an electrostatically driven MEMS speaker

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Tumpold, David (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2014
Schriftenreihe:	Measurement-, actuator-, and simulation-technology
Schlagworte:	Schalldruckpegel Akustische Signalverarbeitung Schallerzeugung Elektrostatischer Lautsprecher Siliciumbauelement MEMS Mikrofon Akustisches Wellenfeld Finite-Elemente-Methode Hochschulschrift
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