Entwicklung von Verfahren für die reflektometrische Schichtdickenmessung und Materialcharakterisierung von dielektrischen Schichten im Vakuum-UV-Bereich bis 120 nm Wellenlänge
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
2014
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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| Beschreibung: | VIII, 201 S. Ill., graph. Darst. |
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