Nanoimprint lithography: an enabling process for nanofabrication

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhou, Weimin 1933- (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Berlin [u.a.] Springer 2013
Schlagworte:	Ingenieurwissenschaften Nanochemistry Optical materials Nanotechnology Engineering Nanoprägen
Online-Zugang:	BTU01 FHA01 FHI01 FHN01 FHR01 FKE01 FWS01 UBY01 Volltext Inhaltsverzeichnis Abstract
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Nanoimprint lithography an enabling process for nanofabrication von Zhou, Weimin

Veröffentlicht 2013

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