Synthesis and combinatorial optimization of novel star-shaped resist materials for lithographic applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wieberger, Florian (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2012
Schlagworte:	Photoresist Elektronenstrahllithografie Atom-Transfer-Polymerisation Hochschulschrift
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Synthesis and combinatorial optimization of novel star-shaped resist materials for lithographic applications von Wieberger, Florian

Veröffentlicht 2012

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