Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen Abschlussbericht ; DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano

Bibliographische Detailangaben

Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Herzogenrath Shaker 2011
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Berichte aus der Fertigungstechnik
Schlagworte:	Nanotechnologie Fertigungsmesstechnik Prüftechnik Mikrosystemtechnik Aufsatzsammlung
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!