Papers from the 22nd International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC) 20 - 24 July 2009, Hamamatsu, Japan
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Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | Tagungsbericht Buch |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
New York, NY
American Inst. of Physics
2010
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Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology : B, Microelectronics and nanometer structures
28,2 |
Schlagworte: | |
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