Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Chemnitz
Univ.-Verl.
2010
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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| Beschreibung: | 245 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
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| ISBN: | 9783941003170 |