Micro and nano mechanical testing of materials and devices

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Yang, Fuqian (HerausgeberIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	New York, NY Springer 2008
Ausgabe:	1. ed.
Schlagworte:	Härteeindruck MEMS Mechanische Eigenschaft Nanoelektromechanik Nanometerbereich Nanostruktur Werkstoffprüfung Zuverlässigkeit Materials > Testing Microelectromechanical systems > Testing Nanoelectromechanical systems > Testing
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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