Introduction to microsystem technology a guide for students

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Gerlach, Gerald (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English German
Veröffentlicht:	Chichester, England Wiley 2008
Schriftenreihe:	Wiley microsystem and nanotechnology series
Schlagworte:	Microélectronique Microelectromechanical systems > Design and construction System design Microelectronics Mikrosystemtechnik MEMS
Online-Zugang:	Publisher description Table of contents only Inhaltsverzeichnis
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