Laterale Nanostrukturierung durch Bestrahlung von AlGaAs-GaAs-Heterostrukturen mit niederenergetischen Neon-Ionen

Laterale Nanostrukturierung durch Bestrahlung von AlGaAs-GaAs-Heterostrukturen mit niederenergetischen Neon-Ionen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lettau, Hans C. (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	1993 [erschienen] 1994
Schlagworte:	Galliumarsenid Aluminiumarsenid Neonion Heterostruktur Ionenbestrahlung Hochschulschrift
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