Sputtering by particle bombardment physical sputtering of single-element solids
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Berlin [u.a.]
Springer
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| Schriftenreihe: | Topics in applied physics
... |
| Schlagworte: | |
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