Sputtering by particle bombardment physical sputtering of single-element solids
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Weitere Verfasser: | Behrisch, R. (HerausgeberIn) |
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Format: | Buch |
Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
Berlin [u.a.]
Springer
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Schriftenreihe: | Topics in applied physics
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Schlagworte: | |
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