Analytical Techniques for Semiconductor Materials and Process Characterization Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 89 Berlin

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Kolbesen, Bernd O. (HerausgeberIn)
Format:	Tagungsbericht Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	Pennington Electrochemical Society 1990
Schriftenreihe:	Proceedings / American Electrochemical Society 90/11
Schlagworte:	Verunreinigung Halbleitergrenzfläche Halbleiterwerkstoff Gitterbaufehler Dünne Schicht Halbleiteroberfläche Konferenz Halbleiter Analytische Methode Konferenzschrift
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