Aufbau hybrider mikrooptischer Funktionsmodule für die optische Nachrichtentechnik mit dem LIGA-Verfahren
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1996
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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| Beschreibung: | 94 S. Ill., graph. Darst. |
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