Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrosystemtechnischen Komponenten für ein miniaturisiertes Gasanalysesystem
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Logos-Verl.
2007
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| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | XXVI, 272 S. Ill., graph. Darst. |
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| ISBN: | 9783832516116 3832516115 |