Dreiachsiger Beschleunigungssensor in Oberflächenmikromechanik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Dresden
TUDpress
2007
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| Schriftenreihe: | Dresdner Beiträge zur Sensorik
30 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | XIX, 136 S. Ill., graph. Darst. |
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| ISBN: | 9783940046437 |