Lecture notes on principles of plasma processing
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York
Springer
2003
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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| Beschreibung: | Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke (ohne CD-ROM) |
|---|---|
| Beschreibung: | IX, 208 S. Ill., graph. Darst. 1 CD-ROM |
| ISBN: | 0306474972 9780306474972 |