Relaxation thermischer Spannungen in Aluminiumfilmen auf Quarzsubstraten

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Pill-Kauffmann, Wolfgang (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1991
Schlagworte:	Quarz Substrat > Mikroelektronik Dünne Schicht Spannungsrelaxation Aluminium Hochschulschrift
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