Symposium held April 17 - 19, 2001, San Francisco, California, USA

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Three-Day Symposium Gate Stack and Silicide Issues in Silicon Processing San Francisco, Calif (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Campbell, Stephen A. (HerausgeberIn)
Format:	Tagungsbericht Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Warrendale, Pa. Material Research Soc. 2002
Schriftenreihe:	Materials Research Society symposium proceedings 670 : Gate stack and silicide issues in silicon processing ; 2 Materials Research Society symposium proceedings 670
Schlagworte:	Konferenzschrift
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