Hochempfindliche LIGA-Mikrospektrometersysteme für den Infrarotbereich

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Krippner, Peter (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Karlsruhe FZKA 1999
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schlagworte:	Mikrosystemtechnik Chopper LIGA-Verfahren Infrarotspektrometer Hochschulschrift
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