Laser and particle beam chemical processing for micro-electronics symposium, Dec. 1 - 3, 1987, Boston, Mass., USA
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Pittsburgh, Pa.
1988
|
| Schriftenreihe: | Materials Research Society symposium proceedings
101 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Beschreibung: | XV, 509 S. |
|---|