Proceedings October 14 - 16, 1997, Philadelphia, Pennsylvania

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Symposium on Microelectronics Philadelphia, Pa (VerfasserIn)
Format:	Tagungsbericht Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	Reston, Va. SPIE 1997
Schriftenreihe:	Proceedings / SPIE 3235
Schlagworte:	Konferenzschrift
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