Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si, Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kunisch, Clemens (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Karlsruhe FZKA 1995
Ausgabe:Als Ms. gedr.
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