Defekterzeugung in kristallinem Silizium durch Kohlenstoffcluster im MeV-Energiebereich

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Fischer, Urs Stefan (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Mikrofilm Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	1993
Ausgabe:	[Mikrofiche-Ausg.]
Schlagworte:	Gitterbaufehler Kohlenstoff Silicium Channeling Cluster Hochschulschrift
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