Polymers in microlithography materials and processes ; developed from a symposium ... at the 197. national meeting of the American Chemical Society, Dallas, Texas, April, 9. - 14, 1989

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Reichmanis, Elsa (HerausgeberIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	Washington, DC 1990
Schriftenreihe:	ACS symposium series 412
Schlagworte:	Konferenzschrift
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