Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium

Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Seidl, Albert (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	1989
Schlagworte:	Silicium Simulation Oberfläche Oxidation Hochschulschrift Oxidationskinetik
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