LIGA and its applications

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Saile, Volker (HerausgeberIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Weinheim Wiley-VCH-Verl. 2009
Schriftenreihe:	Advanced micro & nanosystems 7
Schlagworte:	Microelectromechanical systems Microtechnology LIGA-Verfahren
Online-Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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