Mikrosystemtechnik Chemnitz '03 Mikromechanik & Mikroelektronik
Gespeichert in:
Format: | Tagungsbericht Buch |
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Sprache: | German English |
Veröffentlicht: |
Chemnitz
Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
2003
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Beschreibung: | VIII, 218 S. Ill., graph. Darst. |
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ISBN: | 3000116559 |