Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Chichester [u.a.] Wiley 2007
Schlagworte:	Circuits intégrés - Conception et construction Microlithographie - Applications industrielles Integrated circuits > Design and construction Microlithography > Industrial applications Fotolithografie > Halbleitertechnologie
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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