Electrical and electromechanical properties of ferroelectric thin films

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Gerber, Peter 1975- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2007
Schriftenreihe:	Berichte aus der Halbleitertechnik
Schlagworte:	Dünne Schicht Ferroelektrikum PZT Stoffeigenschaft System-in-Package Ätzen Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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